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TSI公司9110型便攜式粒子計(jì)數(shù)器可測(cè)量到0.100微米的粒子。它所使用的氦氖激光技術(shù)可以大程度提高信噪比。9110型*遵從ISO-14644-1標(biāo)準(zhǔn)，是驗(yàn)證一級(jí)和二級(jí)潔凈房間的選擇。這款儀器可應(yīng)用在潔凈房間的監(jiān)測(cè)，過(guò)程監(jiān)控和過(guò)濾膜測(cè)試。
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